1)機床主軸系采用液體靜壓軸承,主軸用分離的徑向軸承和推力軸承支承。為減少工件重量產生變形的影響,機床采用立式結構,這樣可以采用面積較大的推力軸承,保證機床有較高軸向剛度,同時保證主軸有較高的回轉精度。
2)為提高機床運動位置測量系統的測景精度,采用高分辨力(分辨力為0625m)的7路雙頻激光測量系統,用以檢測刀具各方向移動的位置,其中4路監測滑板在橫梁上的運動,3路監測刀架垂直運動,通過計算機(32位電子計算機)運算可以精確知道刀尖的位置,能在線測量滑板和刀架的歪斜并予以誤差補償,因此該機床能夠達到很高的加工精度
3)為減少熱變形影響,使用熱膨脹系數小的鋼鋼材料制作關鍵零部件,用熱變換器控制溫度,并且機床內各發熱部分都使用大量恒溫水(水溫嚴格控制在20±0.00℃)冷卻。
4)為減少振動影響,機床采用大的地基,整臺機床用4個很大的空氣隔振墊將機床架起來。這4個空氣隔振墊中有2個是內部相通的,受力時能自動平衡,這樣用四個空氣隔振墊可以起到三點支承一平面效果。空氣隔振墊是架在機床上較高的位置(如圖536所示),空氣隔離墊本身是放在很高的基礎上的。為了避免機床受水泵振動的影響,恒溫冷卻水先用水泵打入儲水罐,然后靠重力流到機床需要冷卻的部位。
5)該機床使用自制的靜電電容式變位計測量工件變形,并用在線測量和誤差補償技術,使機床達到很高的精度,經美國**標準局(NBs)檢測,實測精度如表57所示,測得結果為:加工形狀誤差為0025m,加工表面粗糙度為R20.0042pmo
機床的加工精度:加工件的圓度和平面度誤差達到0.013ym,加工表面粗糖度的指標為0.0042ym。工件車削后可不經研磨就能在紅外區光譜內應用。
LODTM大型金剛石立式車床的研制成功,標志著超精密車床發展到一個新階段,超精密金剛石車削技術已經成為制造大型光學零件的重要手段。
